日本ANELVA高真空探头 MG-2
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仕様
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形 式
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MG-2
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MG-2M
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MG-2I/
NW16,25
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MG-2I/
φ34ICF,φ70ICF
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MG-2F
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MG-2WF
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ボディー材質
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SUS304
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測定上限圧力（注1）
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13Pa
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1.3×10-1（注3）Pa
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測定下限圧力（注2）
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10-6Pa台
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10-7Pa台
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1.0×10-5（注4）Pa台
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感度
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0.045Pa-1
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フィラメント
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フィラメント2本内蔵
フィラメント材：イットリアコートイリジウム線
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フィラメント2本内蔵
フィラメント材：タングステン
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測定球容積
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約12cc
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所要
電力
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フィラメント
グリッドデガス
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2.3W
1.0W
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2.5W
1.0W
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デガス方式
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グリッド通電
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取り付け方法
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φ15ゲージアダプタまたは各種フランジに溶接可
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φ18ゲージアダプタ
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NW25、NW16
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φ34ICF、φ70ICF
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φ70ICFフランジに接続
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φ15ゲージアダプタまたは各種フランジに溶接可
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注1）リニアリティーの限界
注2）実用的に測定できる圧力の限界です。10-7Paの測定にはMG-2Fの使用を推奨いたします。
注3）但し、窒素やアルゴンガスのような不活性ガスでは13Paまで測定可能です。
注4）MG-2WFは、標準MG-2と比べ測定下限値が1桁高い値となります。
外形寸法図
各種フランジ取り付け例
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