|
形 式
|
MG-2
|
MG-2M
|
MG-2I/
NW16,25
|
MG-2I/
φ34ICF,φ70ICF
|
MG-2F
|
MG-2WF
|
|
ボディー材質
|
SUS304
|
|
測定上限圧力（注1）
|
13Pa
|
1.3×10-1（注3）Pa
|
|
測定下限圧力（注2）
|
10-6Pa台
|
10-7Pa台
|
1.0×10-5（注4）Pa台
|
|
感度
|
0.045Pa-1
|
|
フィラメント
|
フィラメント2本内蔵
フィラメント材：イットリアコートイリジウム線
|
フィラメント2本内蔵
フィラメント材：タングステン
|
|
測定球容積
|
約12cc
|
所要
電力
|
フィラメント
グリッドデガス
|
2.3W
1.0W
|
2.5W
1.0W
|
|
デガス方式
|
グリッド通電
|
|
取り付け方法
|
φ15ゲージアダプタまたは各種フランジに溶接可
|
φ18ゲージアダプタ
|
NW25、NW16
|
φ34ICF、φ70ICF
|
φ70ICFフランジに接続
|
φ15ゲージアダプタまたは各種フランジに溶接可
|
注1）リニアリティーの限界
注2）実用的に測定できる圧力の限界です。10-7Paの測定にはMG-2Fの使用を推奨いたします。
注3）但し、窒素やアルゴンガスのような不活性ガスでは13Paまで測定可能です。
注4）MG-2WFは、標準MG-2と比べ測定下限値が1桁高い値となります。